本文摘要:据报,美国光电子技术解决方法的领跑房地产商PlesseySemiconductor此前回应,已从晶圆键合和光刻技术机器设备生产商EVG售卖了GEMINI晶圆键合系统。

据报,美国光电子技术解决方法的领跑房地产商PlesseySemiconductor此前回应,已从晶圆键合和光刻技术机器设备生产商EVG售卖了GEMINI晶圆键合系统。该企业方案用以该系统不断发展其GaN-on-SiMicroLED的生产。Plessey回应,GEMINI生产晶圆键合系统将在Plessey位于美国普利茅斯的生产加工厂开展粘合和校正的工作中。

此外,该系统还可将其GaN-on-SiMicroLED列阵与晶圆级侧板紧密联系,具有超过像素尺寸需要的高对准精密度。EVG回应,其获得专利权的SmartViewreg;NT全自动键合对准系统技术性可完成晶圆的正脸对准,具有非常高的精密度。除此之外,其GEMINI自动化技术生产晶圆键合系统搭建了最低标准的自动化技术和步骤搭建。该自动式服务平台可完成晶圆到晶圆对准及其获得达到300mm的晶圆键合加工工艺,仅限于于大批量生产。

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